導入事例

フッ酸(フッ化水素酸)洗浄用プラスチックベアリング

フッ酸(フッ化水素酸)に強い樹脂ベアリング
半導体・液晶のフッ酸洗浄時に使えるプラスチックベアリングです。
日本でPCTFE(三フッ化エチレン樹脂)のボールベアリングを製造しているのは鹿島化学金属だけ!

フッ酸(フッ化水素酸)洗浄用プラスチックベアリング
フッ酸(フッ化水素酸)洗浄用プラスチックベアリング

本体PCTFE+ボールSiC(炭化珪素)の仕様です
半導体や液晶の洗浄にフッ酸が使われますが、
多くの金属や樹脂、セラミックは腐食してしまいます。
鹿島化学金属(株)では、フッ酸に強いPCTFE製(※)の樹脂ベアリングを製造しています。日本でPCTFE(三フッ化エチレン樹脂)のボールベアリングを製造しているのは鹿島化学金属(株)だけです。

※PCTFE:ポリクロロトリフルオロエチレン(Poly Chloro Tri Furuoro Ethylene)
三フッ化エチレン樹脂

使用条件によってはフッ酸であっても他の材質が適している場合もあります。
ご使用条件を教えて頂けましたら最適なご提案をさせて頂きます。

深溝ベアリングはもちろん、アンギュラベアリングやスラストベアリング他、特殊形状も可能です。
ご相談下さい

●主な用途
・半導体洗浄ライン
・液晶洗浄ライン
・フッ酸(フッ化水素酸)を使用する環境

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