半導体製造などで使用されるフィルム搬送装置に採用
半導体製造などで使用されるフィルムの搬送装置には、フィルムを純水中で上下運動させて洗浄する工程があります。
この工程では、ベアリングも水中で使用するため、一般的な金属製ベアリングでは錆が発生してしまうという課題がありました。
そこで、水中でも使用でき、錆びる心配のない樹脂スライドベアリングを採用していただきました。
 スライドベアリングとシャフト |
 スライドベアリング本体 |
樹脂スライドベアリングを採用
樹脂ベアリングは、金属製ベアリングと異なり錆が発生しないため、水や純水に触れる環境でも使用しやすいことが特長です。
また、無潤滑・無給油で使用できるため、給油による水やフィルムへの油分の付着を避けたい用途にも適しています。
今回のような、フィルムを水中で洗浄・搬送する設備では、ベアリングの耐水性だけでなく、メンテナンス性や異物・油分の付着を抑えることも重要となります。
導入のポイント
- 純水中で使用可能
- 金属製ベアリングのような錆の発生を抑制
- 無潤滑・無給油で使用可能
本製品は導入後も継続してご利用いただいており、数年ごとにリピートで採用されています。
半導体関連のフィルム搬送装置をはじめ、水中で使用するベアリングや、錆・腐食・コンタミ等が課題となる設備には、樹脂スライドベアリングが活用できます。
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