エッチング装置

エッチング装置内では多くの樹脂ベアリングを使用して頂いています。エッチング加工は半導体製造工程の中で薬液、ガス等を利用した加工のことで、非常に強い薬品を使うので金属ベアリングでは腐食してしまいます。

当社の樹脂ベアリングは、耐薬品ベアリングとして搬送用やガイド、位置決めのために使用されます。

使用される薬品によって推奨する材質が変わります。例えば耐薬品性が高いと言われるPEEKは一部強酸には耐性がないため、その場合はPTFEやPPSを推奨することもあります(使用条件により異なります)。

用途一覧TOPへ