半導体装置の搬送機構用セラミックベアリング（日本製）
半導体部品製造装置に使われる日本製セラミックベアリングです。 回転させながら真空処理を行うのですが、その回転機構に使用頂いております。 金属ベアリングだと、エアー吸引時にオイルが一緒に吸われてしまうという点から、オイルレ[…..]
半導体・液晶関連
強酸環境下で使用のベアリング
半導体・液晶関連の洗浄装置内にて強酸雰囲気があり、通常の金属製ベアリングでは腐食してしまいます。こういった場合の対策として樹脂製のベアリングをご使用頂いております。 強酸環境下で使用のベアリング この事例の関連ページ ・[…..]
UV（紫外線）環境用のベアリング
通常の樹脂ではUV照射すると紫外線劣化という現象を起こし、ボールベアリングとして性能が落ちてしまいます。 そういった環境化においては特殊材質を選定し、ご使用頂いております。 UV（紫外線）環境用のベアリング […..]
液晶関連の製造装置に使用されている自動調心ベアリング
液晶関連の製造装置内にてフィルム搬送部があり、シャフトが長く芯が取れないので自動調心タイプを採用して頂いております。 液晶関連の製造装置に使用されている自動調心ベアリング この事例の関連ページ ・調心ベアリ[…..]
位置決め用基板搬送ラインの溝付ベアリング
基板搬送ラインのガイドローラーとして使用されています。(基板の端面がV溝に沿って位置決めされる) 位置決め用基板搬送ラインの溝付ベアリング この事例の関連ページ ・深溝ベアリング ・ボールベアリング別注品 […..]
金属の薄板を搬送するラインの部品
プリント基板製造装置やエッチング装置にて、金属の薄板を搬送するラインの部品に使用されています。 金属薄板搬送ラインの溝付ベアリング 外径にフラット溝を施しております。 溝幅は薄板の幅に合わせたサイズにしてお[…..]
フィルム搬送装置用スライドベアリング
半導体製造などで使用されるフィルムの搬送装置には、フィルムを純水中で上下運動させて洗浄する部分があります。 水中で利用する為、金属のベアリングだと錆びてしまうということで、当社のスライドベリングを採用していただきました。[…..]