半導体部品製造装置に使われる日本製セラミックベアリングです。
回転させながら真空処理を行うのですが、その回転機構に使用頂いております。
金属ベアリングだと、エアー吸引時にオイルが一緒に吸われてしまうという点から、オイルレスで且つ精度が出せるベアリングをということでセラミックベアリングを提案し採用していただきました。
また、お客様から「日本製のセラミックベアリングを使いたい」という要望もあり、社内製作にて純国産のセラミックベアリングをご提供させていただきました。
プラスチックベアリングに比べてセラミックベアリングは価格面では高くなりますが、強度や回転はプラスチックよりも高い性能を持ち、金属ベアリング0級相当の精度で仕上げることができます。
プラスチック同様、オイルレス・耐水性・耐薬品性・非磁性・絶縁性の特徴も有しております。
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